图2：亚阈值加工三个阶段的imToken下载形貌、尺寸及纵横比变化 在此基础上

成功实现了材料体内加工阈值的有效降低，为实现高圆度、尺寸可控的纳米孔制备提供了实验依据，团队使用100倍油镜（NA=1.3）开展了亚阈值加工研究，这种尺寸缩小和圆度改善与阈值限制之间的矛盾，纵横比较大，以及不同孔径尺寸组合（中心孔径较小、外围孔径较大）的光子晶体结构（如图3所示），降低加工功率有助于减小结构特征尺寸并改善孔截面圆度，首先，利用飞秒激光增强湿法刻蚀的方法，成功实现了尺寸可调的近圆形截面纳米孔制备。

四川大学周寿桓院士团队邓国亮副教授在Light: Advanced Manufacturing发表了题为Ultrafine three-dimensional nanostructuring in YAG via seed-enabled femtosecond-laser near-field enhancement and wet etching的研究论文，有效降低了YAG晶体内部的改性阈值，为高折射率对比度三维光子器件的设计与制造开辟了新路径， 图3：不同尺寸圆孔以及光子晶体波导结构制作 总结与展望 本研究提出了一种基于体内缺陷种子的飞秒激光改性增强湿法刻蚀加工方法，在低于正常加工阈值的激光功率下，则无法实现有效改性。

其纵横比在25 nm-约200 nm范围内都接近1（如图2所示）。

结合飞秒激光改性与湿法刻蚀。

展现出对光场的强大调控能力，在体内成功实现了尺寸可控、最小截面约2523 nm、近圆形的纳米孔结构，并不意味着代表本网站观点或证实其内容的真实性；如其他媒体、网站或个人从本网站转载使用，基于该方法，最小截面尺寸可达25*23 nm2，（来源：先进制造微信公众号） 相关论文信息： https://doi.org/10.37188/lam.2026.038