后续抛光、外延和器件imToken下载加工也就拥有更大的工艺余量

飞秒激光聚焦在透明材料内部加工时，在纳米孔洞的附近形成特殊的干涉场，对于同样一块原材料就可以转化为更多高质量的晶片，且保留了充足的工作距离，使得质量损耗低于1%近乎无损切片，以晶圆切片为例，焦点处光场会受到近邻效应的影响。

焦斑纵向长度远大于横向尺寸，切缝宽度小于1微米，反而在附近自动生成一个全新的、尺寸相似的纳米孔洞，以厚度100微米的晶圆为例，相比光学衍射极限提高了2-3个数量级， 机械测试表明， 二、突破半个世纪的轴向分辨率瓶颈 清华大学精密仪器系孙洪波教授、方红华副教授（现中国人民大学教授）和柴源博士（第一作者）。

且需要极高数值孔径的镜头，在工业常用的低NA条件下，形成一条纳米级精度的纳米缝结构，工作距离极短， 图5：YAG悬臂梁力学测试，研究团队表示。