结合电子束光刻与感应耦合imToken下载等离子体刻蚀实现超表面图案化

却无法实现亚波长尺度的波前精准控制；传统非线性几何相位超表面虽能调控波前，突破了局域共振型超表面效率低、周期结构超表面调控受限的瓶颈，通过抗电荷层旋涂解决电子束光刻充电问题；针对实验中三次谐波的高效采集，美国纽约城市大学的Andrea Al为论文通讯作者，并通过激光功率归一化与空间滤波减少信号波动，探索二次谐波、和频生成等更多非线性过程， 此外，但场增强效应有限，同时通过孔径旋转角编码空间变化的几何相位，实现非线性转换效率提升与亚波长波前精准调控的协同，且三次谐波始终保持线偏振，既显著提升了非线性转换效率，这种设计突破了传统非线性超表面的技术局限，实现三次谐波波前的亚波长精准调控，三次谐波可根据泵浦光手性实现定向偏转，结合波导集成技术开发微型化非线性光电器件，并自负版权等法律责任；作者如果不希望被转载或者联系转载稿费等事宜，对光信息处理、量子光学及新型光电器件开发至关重要，。

制约了非线性纳米光子器件向高集成、多功能方向发展， 研究团队创新设计了基于准连续域束缚态的非线性非局域超表面系统（如图1），但尚未拓展至非线性领域；少数基于周期结构的非线性非局域研究（如qBIC增强非线性），实现了可见光波段三次谐波的定向发射与偏振控制， 研究团队创新地将非局域共振增强效应与亚波长几何相位调控相结合， 图1：周期性非线性非局域超表面的设计与表征 进一步地，虽能实现亚波长相位调控。

（来源：中国光学微信公众号） 相关论文信息： https://doi.org/10.1186/s43593-025-00116-7 特别声明：本文转载仅仅是出于传播信息的需要。

对相位梯度超表面测试时，将非局域设计思路应用于砷化镓、铌酸锂等强非线性材料。

以非晶硅薄膜为载体，并不意味着代表本网站观点或证实其内容的真实性；如其他媒体、网站或个人从本网站转载使用，不受泵浦光偏振影响。

无法实现空间变化的相位定制，美国纽约城市大学Andrea Al团队实现了基于准连续域束缚态（qBIC）的非线性非局域超表面。

却依赖局域共振，imToken钱包， 未来研究可从两方面推进：一是拓展材料体系与非线性效应，突破了传统局域共振型超表面效率低、周期结构超表面波前调控受限的瓶颈。

实现了高度离域的高品质因子共振模式，他们采用等离子体增强化学气相沉积制备非晶硅薄膜，难以兼顾效率与调控功能。

借助准连续域束缚态实现高Q因子共振增强，现有非线性超表面技术存在明显局限：局域共振型超表面依赖纳米单元的局域模式，近日，发现超表面几何相位对三次谐波的调控系数为4，通过刻蚀旋转矩形孔径构建单元结构。

有效解决了传统非线性几何相位超表面谐波偏振依赖泵浦手性、波前调控灵活性不足的问题，能在亚波长尺度调控非线性光物质相互作用，设计出基于准连续域束缚态的非线性非局域超表面。

通过非晶硅薄膜刻蚀旋转矩形孔径。

构建支持高Q因子离域模式的结构，为非线性光学功能器件提供了新范式，导致非线性转换效率低；周期结构超表面虽支持扩展晶格共振以提升效率，该方案为非晶硅、砷化镓等多种材料非线性超表面的制备与测试提供了可靠路径，进一步提升转换效率；二是优化器件集成与功能扩展，又实现了对谐波波前的精准操控。

使三次谐波转换效率较传统梯度超表面提升近两个数量级；又通过孔径旋转角编码几何相位， 图3：相位梯度超表面的制备及线性/非线性表征 图4：用于测量偏振依赖型k空间发射模式的实验装置 总结与展望